高速稳定的晶圆测试

设备有一个XY平台，共有超过15个运动轴。晶圆探针检测需要非常精准的测量，因此必须保证系统内的电磁噪声超小。客户不希望采用体积庞大、价格昂贵且需要大量时间来开发、组装和测试的外部EMI滤波组件。此外，运动整定时间小于30毫秒和静止抖动小于100纳米，同时提高整体机器产能。  

解决方案：  

a.选择Gold Solo Bell伺服驱动器和Platinum Maestro多轴运动控制器  

b.选择Gold Solo Bell伺服驱动器，因为它足够小，可以安装在机器内和移动负载上，并且足够坚固，可以承受机械冲击和高加速度。将驱动器安装在机器内部无需电缆和电缆载体进出机器，并且无需电气柜，这些使得整个机器尺寸减少了大约30%。  

c.使用Gold Solo Bell，机器的运动整定时间减少到10ms以下，静止抖动小于20nm，大大低于要求。该驱动器的极高功率转换效率使机器本身更加高效，无需使用需要持续维护的耗能冷却方法。  

e.Platinum Maestro被选为机器运动轴的主控制器。卓越的伺服驱动器和多轴控制能力相结合，缩短了探针之间的时间，显着提高了整体产能。