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发布时间:2021-06-01 15:08:14 人气:
Elmo伺服驱动器有多个型号适用于半导体制造领域,以下是一些常见的型号:
Platinum系列:
Platinum String Quartet:四轴驱动器,可用于半导体设备中的多轴协同控制,如高精密双驱龙门系统等。
Platinum Maestro:多轴总线型运动控制器,常与其他Platinum系列驱动器配合使用,为半导体设备提供高精度的运动控制解决方案。
Platinum Solo Bell:紧凑型伺服驱动器,能够驱动各种电机,并具有多轴功能,可直接安装在轴上,无需电缆,适用于半导体设备中的一些紧凑空间场景。
Platinum Twitter:最小尺寸为35x30mm,却可提供最高5600W的连续功率,采用高分辨率编码器和先进电流环控制技术,搭配Platinum Maestro先进的双核运动控制技术,可实现纳米级精度的运动控制,满足半导体制作工序持续微缩的需求。
Titanium系列:如Titanium Castanet,是基于氮化镓功率开关技术的下一代双轴功能安全伺服驱动器,适用于低直流电压应用,在100伏电压下最高可达15安培,连续功率为2.4千瓦,可用于半导体制造中对功率和安全性有较高要求的环节。
Gold系列:
Gold Oboe:具有卓越的性能、功能和灵活性,支持EtherCAT和CANopen网络通信,可应用于半导体制造中的一些通用运动控制场景。
Gold Solo Mandolin:超小高电压迷你型伺服驱动器,具有高功率密度等特点,可用于半导体设备中对空间要求较高的部位。
Gold DC Trombone:紧凑型高电压伺服驱动器,能满足半导体制造中一些对电压和功率有特定要求的运动控制需求。
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